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CAS號：7803-62-5
英文名稱：Silicon tetrahydride
英文同義詞：SiH4;SILANE;Silicane;Monosilane;The silane;flots100sco;tetrahydrure;Silicomethane;methylsilicane;Silicon hydride
中文名稱：硅烷
中文同義詞：硅烷;甲矽烷;甲硅烷;四氫化硅;高純硅烷;硅烷,四氫化硅;RB-902硅烷偶聯劑;RB-602硅烷偶聯劑
分子式：H4Si
分子量：32.12
熔點：-185 °C
沸點：-112 °C
密度：1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸氣密度：1.1 (vs air)
形態：colorless gas
比重：0.680
水溶解性：decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
水解敏感性：10： reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
Merck：13,8562
暴露限值：TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).
EPA化學物質信息：Silane (7803-62-5)